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>LFT系列單溫區(qū)真空管式爐 CVD1200C 440D60 2ZLV

LFT系列單溫區(qū)真空管式爐 CVD1200C 440D60 2ZLV

LFT系列單溫區(qū)真空管式爐 CVD1200C 440D60 2ZLV

直接聯(lián)系

合肥康帕因設(shè)備技術(shù)有限公司

安徽

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

品牌:

康帕因

型號(hào):

LFT系列單溫區(qū)真空管式爐 CVD1200C 440D60 2ZLV

關(guān)注度:

1288

產(chǎn)品介紹

設(shè)備特點(diǎn)

    CVD1200C 440D60 2ZLV 是集單溫區(qū)真空管式爐、二路質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)及低真空機(jī)組而成一種動(dòng)態(tài)狀態(tài)下的化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)。單溫區(qū)真空管式爐采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu),爐體表面溫度≤60,爐膛采用高純度氧化鋁微晶纖維高溫真空吸附成型。


技術(shù)參數(shù):

名稱

規(guī)格

單溫區(qū)真空管式爐CVD系統(tǒng) CVD1200C 440D60 2ZLV

 

 

 

 

單溫區(qū)真空管式爐

爐管尺寸

Φ60×1000mm 更多其他規(guī)格石英管可選(Φ50/60/80/100mm等)

主要參數(shù)

**溫度: 1200℃(使用時(shí)必須通入惰性氣體以防止?fàn)t管發(fā)生形變)

 工作溫度: 1100℃

 推薦升溫速率:≤10℃/min

 加熱區(qū)長(zhǎng)度: 400mm

 額定功率:3KW

 電壓:?jiǎn)蜗郃C 208 - 240V, 50Hz

爐體結(jié)構(gòu)

雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C

高純狀氧化鋁纖維絕緣層,**限度節(jié)約能源

爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長(zhǎng)爐子的使用壽命

溫控系統(tǒng)

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)功能

 智能化30段可編程控制

 具有超溫及斷偶報(bào)警功能

 控溫精度: ±1 ℃

 K型熱電偶

 可安裝PC控制軟件對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)采集(需另購(gòu))


溫控儀表(可選)

標(biāo)配儀表品牌為宇電,可指定其他品牌溫控儀表,如島電等。

管堵

多種規(guī)格管堵,防止來(lái)自內(nèi)部管子的熱輻射,管堵在加熱前必須完全放入爐腔。石英管堵滿足潔凈實(shí)驗(yàn)環(huán)境或者較高真空需求

密封系統(tǒng)

爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭。(包括精密針閥、指針式真空壓力表、軟管接頭)

 如需獲得較高的真空度,建議采用不銹鋼波紋管連接及數(shù)顯真空計(jì)(需另外訂購(gòu))

出氣端配備磁流體密封裝置,容許設(shè)備在連續(xù)真空條件下工作。

備注:本公司標(biāo)配法規(guī)格如下進(jìn)氣端Φ6卡套接口,可連接Φ6不銹管或者聚四氟管。

出氣端預(yù)留KF25接口,方便連接真空泵,KF16接口,方便連接數(shù)顯真空計(jì),以及Φ9氣嘴接頭,以便出氣

擴(kuò)展端口

 如進(jìn)氣管道為橡膠軟管,則需將進(jìn)氣口更換成Φ9氣嘴接頭

真空度

雙極旋片機(jī)械泵:10^-1Pa

 分子泵機(jī)組:10^-3 Pa

可選配本公司配套高低真空


外形尺寸

650mm(L) ×450mm(W) × 550mm(H)

凈重

40Kg

二路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

MFC-2Z

電壓

 220VAC  單相  50/60Hz

針閥材質(zhì)

 316不銹鋼

量程

 50sccm、100sccm(可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇)

工作溫度

 5~45℃

外型尺寸

 600(L) x 600(W) x 750(H) mm

電壓

 AC220V/50Hz單相

功率

 23W

真空系統(tǒng)

LVU-10

殼體尺寸

600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm

**承載量

1000 Lbs 

抽氣速率

10m3/h

極限真空度:10-1Pa

雙層立式油污過(guò)濾器(PE材質(zhì))與真空泵連接

質(zhì)保期

一年保修,終身技術(shù)支持。

 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

相關(guān)應(yīng)用

爐膛內(nèi)襯可以單獨(dú)更換(額外付費(fèi))

 可以根據(jù)要求設(shè)計(jì)成帶有滑動(dòng)法蘭的爐子

應(yīng)用注意事項(xiàng)

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)

 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃

 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注


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LFT系列單溫區(qū)真空管式爐 CVD1200C 440D60 2ZLV

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