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超高真空多腔體磁控濺射系統(tǒng)

QBT-MP

直接聯(lián)系

廈門韞茂科技有限公司

福建

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

品牌:

韞茂科技

型號:

QBT-MP

關(guān)注度:

3535

創(chuàng)新點:

廈門韞茂科技有限公司憑借在先進材料設(shè)備業(yè)務(wù)方面多年的經(jīng)驗,韞茂為新型芯片,半導(dǎo)體和鋰電池領(lǐng)域的新材料開發(fā)和生產(chǎn),提供最先進的納米工藝設(shè)備和服務(wù)解決方案。根據(jù)您的特殊需求,我們?yōu)槟ㄖ拼蛟靹?chuàng)新納米加工平臺,保證高品質(zhì)的設(shè)計,多功能,易于使用的界面,嚴(yán)格的安全控制,以及快速的交付和服務(wù)。

產(chǎn)品介紹

超高真空多腔體磁控濺射系統(tǒng)

556.png

技術(shù)參數(shù):


基板:可加熱至RT-900oC,可旋轉(zhuǎn),基板與靶材距離連續(xù)可調(diào),晶圓和靶空間可以連續(xù)變化

極限真空:<3E-9Torr

基板傳輸:高度可靠和可重復(fù)的基板傳輸能力



產(chǎn)品咨詢

超高真空多腔體磁控濺射系統(tǒng)

QBT-MP

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超高真空多腔體磁控濺射系統(tǒng) - 3535
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