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產(chǎn)品介紹 

MGDS 隔膜閥，膜片式硬密封結(jié)構(gòu)，超低漏率；適用于超高純度氣體，半導(dǎo)體用（毒、腐）氣體，滿足一體化氣體分配系統(tǒng)的使用。

主要部件材料 

閥體         316L /316L（VIM+VAR） 

膜片        Ni-Co alloy /UNS R30003

密封墊     PCTFE

工作條件

工作壓力              150psig

爆破壓力           450psig

流量系數(shù)           0.1/0.3HF

工作溫度           -10 ～ 80℃

內(nèi)漏率              ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

外漏率              ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

內(nèi)表面粗糙度    Ra ≤ 0.1μm

產(chǎn)品特點(diǎn) 

適用于一體化氣路分配系統(tǒng)

每臺(tái)閥門進(jìn)行單獨(dú)氦質(zhì)譜泄漏測試

超長使用壽命