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KOSAKA LAB ET 4000臺(tái)階儀(探針接觸式輪廓儀/微細(xì)形狀測(cè)定機(jī))（Microfigure Measuring Instrument）

產(chǎn)品介紹 株式會(huì)社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創(chuàng)立的公司，也是日本**家發(fā)表光學(xué)干杠桿表面粗糙度計(jì)，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的專(zhuān)業(yè)廠商，主要有測(cè)定/自動(dòng)/流體三大部門(mén)。其中測(cè)定部門(mén)為**代表性單位且在日本精密測(cè)定業(yè)占有一席無(wú)法被取代的地位。ET4000系列中，有ET4000A(多動(dòng)能、自動(dòng)化、可添加一款3D軟件，掃出測(cè)量表面的3D形貌) ，ET4000L(完全自動(dòng)化的，針對(duì)體積較大的樣品可與大型精密貴重玻璃或晶片尺寸樣品) ，ET4000M(Y軸方向手動(dòng)移動(dòng)、性?xún)r(jià)比高、易于使用) ，常用的是ET4000A。ET4000系列具有良好的穩(wěn)定性、高精度和強(qiáng)大的功能。在平板顯示器FPD，晶片，硬盤(pán)和其他納米尺度上的應(yīng)用廣泛。

主要特點(diǎn)：

（1）**的臺(tái)階再現(xiàn)性與線性度。

（2）超高真直度，可確保量測(cè)圖形不受任何影響，并可在真直度的保證下進(jìn)行長(zhǎng)距離測(cè)量。

（3）采用超低噪音直動(dòng)式 LVDT，超低測(cè)定力的觸針可任意調(diào)節(jié)。

（4）配備高分辨率的 CCD 即時(shí)進(jìn)行高精度定位測(cè)量。

（5）可對(duì)應(yīng)各種國(guó)際規(guī)范，測(cè)定參數(shù)多達(dá) 60 多種。

（6）適用于各種與納米材料有關(guān)的MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。

技術(shù)參數(shù) 一、測(cè)定工件：

1. **工件尺寸 210 × 210 mm to 300 × 400 mm

2. **工件厚度 50mm

3. **工件重量 2kg

二、檢出器（pick up）：

1. Z 方向測(cè)定范圍 Max. 100μm

2. Z 方向分解能 0.1nm

3. 測(cè)定力 0.5 μN to 500 μN

4. 觸針半徑 0.5 ， 2 μm

5. 驅(qū)動(dòng)方式 直動(dòng)式

三、X 軸 (基準(zhǔn)軸)：

1. 移動(dòng)量(**測(cè)長(zhǎng)) 100mm

2. 移動(dòng)的真直度 0.005μm/5mm

3. 測(cè)定速度 0.005 ~ 2mm/S

4. 位置定位時(shí)速度 Max. 10mm/S

5. 線性尺(linar scale) 分解能 0.01μm

6. 位置定位再現(xiàn)性 ± 5μm

7. 滑軌 材質(zhì)為在鑄鐵(CD-5)上，鍍上硬質(zhì) Cr，無(wú)潤(rùn)滑(于移動(dòng)臺(tái)側(cè)，使用鐵弗龍折動(dòng)材料)

8. 驅(qū)動(dòng) DC motor + Dynamic belt

四、Y 軸(位置決定用)：

1. 移動(dòng)量 52mm

2. 移動(dòng)速度 max.3mm/S

3. 滑軌 Crose roller 滑軌

4. 驅(qū)動(dòng) DC motor + 滾珠螺桿(P=2mm)

5. 檢出器自動(dòng)停止機(jī)能

五、工件臺(tái)：

1. 工件臺(tái)尺寸 210mm×210mm

2. 自動(dòng)傾斜量 X: ± 1mm/150mm Y: ± 1mm/186mm

3. 分解能 0.25μm

4. 驅(qū)動(dòng) pulse motor

六、全自動(dòng)量測(cè)功能

七、工件觀察 max. 80倍(可選購(gòu)其它高倍率 CCD)

八、床臺(tái) 材質(zhì)為花崗巖石

九、段差測(cè)定再現(xiàn)性 1δ， 5A°以?xún)?nèi)

十、防振臺(tái)(選購(gòu)) 落地型或桌上型

十一、電源 AC100V±10%，50/60HZ，800VA

十二、本體外觀尺寸 W660×D580×H660mm(不含防震臺(tái))