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臥式氧化爐
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中國電子科技集團公司第四十八研究所
湖南
面議
電子科技
16
應用于集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業的擴散、氧化、退火、合金和燒結等;適用工藝有擴散、氧化、退火、合金。
設備成熟穩定,可靠性高;
恒溫區自動調整,串級控制,可準確控制反應管的實際工藝溫度。
晶片尺寸:2*—6*;
工藝溫度:400℃—1300℃;
恒溫區長度:800mm — 1000mm。
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